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        文章正文
        潔凈室性能衡量因素之氣流介紹
        作者:深圳昊宸環境工程    發布于:2015-09-21 09:14:30    文字:【】【】【

        潔凈室性能衡量因素之氣流介紹

        潔凈室內的潔凈度會受到氣流的影響,通俗來講,潔凈工程中的設備、人員等產生的微粒子出現移動或擴散都是由氣流造成。

        潔凈室過濾是采用HEPAEA或是ULPA的方式,將污染物進行過濾,一般可達到99%的過濾效果。我們都知道,潔凈工程的潔凈區對潔凈度的要求十分嚴格,一旦出現污染,工藝或是產品的質量都會受到影響。也就是說,   因室內的設備、使用材料、工作人員等產生微粒子等污染后會迅速影響整個潔凈區。所以,為了保證室內潔凈度,必須利用氣流將污染物排出室外。


        潔凈工程對氣流速度的有著很嚴格的要求,昊宸就以潔凈室為例,為大家詳細介紹。

        對于亂流式潔凈室減少室內污染主要是通過空氣的稀釋作用來完成的,因此,一般不用速度而是用換氣數來說的。但是,對潔凈室潔凈工程中的氣流速度也是有要求:

        1.和單純空調房間相比,送風口的出口處氣流不要太大。

        2.吹過水平面的氣流速度不宜太大,以免吹起表面微粒重返氣流,而造成再污染,這一速度一般不宜大干0.2m/s。

        潔凈工程中凈化效果的如何,要看每步流程是否達標,只有全方面考慮到,才能達到預期的效果。

        風速的控制

        潔凈室內的氣流是左右潔凈室性能的重要因素,一般潔凈室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間,此氣流速度屬微風區域,易受人、機器等的動作而干擾趨于混亂、雖提高風速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風速的提高,將影響運轉成本的增加,所以應在滿足要求的潔凈度水準之時,能以最適當的風速供應,以達到適當的風速供應以達到經濟性效果。

        另一方面欲達到潔凈室潔凈度之穩定效果,均一氣流之保持亦為一重要因素,均一氣流若無法保持,表示風速有異,特別是在壁面,氣流會延著壁面發生渦流作用,此時要實現高潔凈度事實上很困難。

        垂直層流式方向要保持均一氣流必須:(a)吹出面的風速不可有速度上的差異;(b)地板回風板吸入面之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高(0.2m/s,0.7m/s)均有渦流之現象發生,而0.5m/s之速度,氣流則較均一,目前一般潔凈室,其風速均取在0.25~0.5m/s之間。

        影響因素

        影響潔凈室的氣流因素很多,如制程設備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等,同時對于生產設備上方氣流的分流點,亦應列入考慮因素。

        一般操作臺或生產設備等表面的氣流分流點,應設于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處,如此可使作業人員工作時,氣流可從制程區內部流向作業區,而將微塵帶走;若分流點配置在制程區前方,將成為不當的氣流分流,此時大部份的氣流將流至制程區之后,作業員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面,工作臺因而將受到污染,良率也勢必降低。

        潔凈室內的工作桌等障礙物,在相接處均會有渦流現象發生,相對地在其附近之潔凈度將會較差,在工作桌面鉆上回風孔,將使渦流現象減少最低;組裝材料之選擇是否恰當、設備布局是否完善,亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素。

         
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